Définition - Que signifie le système micro-électromécanique (MEMS)?
Un système micro-électromécanique (MEMS) est un minuscule module mécanique entraîné par l'électricité. NEMS fusionne des ordinateurs avec des modules mécaniques tels que des capteurs, des actionneurs et des miroirs. Ce sont des systèmes rentables qui utilisent une technologie de fabrication de dispositifs modifiés.
Les MEMS ont une variété d'utilisations et viennent dans un large éventail d'approches de conception de fabrication, tirant parti de divers composants, de la miniaturisation et des nouveaux systèmes électromécaniques intégrés standard. Les MEMS peuvent être utilisés pour la gravure humide comme l'hydroxyde de potassium (KOA), la gravure sèche telle que la gravure ionique réactive profonde (DRIE), le moulage et le placage, les machines à électro-décharge (EDM) et d'autres technologies qui produisent de petits appareils.
Un système micro-électromécanique peut également être appelé système microélectronique, micromachine, technologie de microsystèmes ou matière intelligente.
Definir Tech explique le système micro-électromécanique (MEMS)
Les MEMS peuvent être plus petits que la largeur d'un cheveu humain et peuvent inclure plusieurs composants tels que:
- Microcapteurs
- Microactionneurs
- Microprocesseurs
- Unités centrales de traitement des données
- Composants pour interagir avec les éléments extérieurs
Les MEMS ont un grand rapport surface / volume et sont construits en utilisant la technologie de fabrication du silicium.
Un dispositif MEMS comprend un microcircuit qui est placé sur une petite puce de silicium utilisée avec des composants mécaniques. La technologie prend en charge une grande variété de dispositifs qui contrôlent, détectent ou activent des processus mécaniques tout en fonctionnant comme une matrice ou individuellement.
Actuellement, les MEMS englobent un seul microsénor ou microacuateur distinct dans leur architecture, mais des niveaux d'assimilation plus complexes peuvent se produire à l'avenir. Le développement suivant pourrait consister à incorporer de nombreuses fonctionnalités individuelles dans un seul système.